MEMS a Radiofrequenza

I Sistemi Microelettromeccanici (MEMS) a radiofrequenza si propongono come una delle tecnologie abilitanti più promettenti per la realizzazione di microsistemi intelligenti con applicazioni le più disperate in ambito civile e militare, con importanti implicazioni sul fronte della ricerca. Essi infatti rappresentano una vantaggiosa alternativa ai dispositivi a stato solido grazie alla loro caratteristica di unire la riconfigurabilità a eccellenti prestazioni in termini di bassa potenza assorbita, linearità e compatibilità con le tecnologie dei circuiti integrati. In questo lavoro sono passate in rassegna le principali caratteristiche di tali dispositivi, accennate le principali problematiche sia tecnologiche sia dal punto di vista della modellazione e progettazione, e, infine, presentati alcuni esempi di applicazione nell’ambito dei circuiti riconfigurabili e dei sistemi wireless intelligenti, allo scopo di mostrare le interessanti potenzialità. Conclude la rassegna una breve presentazione delle attività di ricerca e sviluppo attualmente in corso in Italia.