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Anagrafe della Ricerca dell'Università degli Studi di Perugia.
EnglishIon Implanted TiN Films Acting as Diffusion Barriers on As+ Doped Silicon Shallow Junctions / Armigliato A.; Finetti M.; Guerri S.; Scorzoni A.; Sabato G.. - STAMPA. - (1985). ((Intervento presentato al convegno International Conference on Metallurgical Coatings tenutosi a Los Angeles, CA, USA nel April 15–19.
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| Titolo: | Ion Implanted TiN Films Acting as Diffusion Barriers on As+ Doped Silicon Shallow Junctions |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1985 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11391/923330 |
| ISBN: | 0883184842 9780883184844 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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