Finite element analysis of stress evolution in Si based front and back ends micro structuresInternational Conferencre on Simulation of Semiconductor Processes and Devices / V., Senez; A., Armigliato; Carlotti, Giovanni; G., Carnevale; H., Jaouen; I., de Wolff. - STAMPA. - (2002), pp. 247-252.
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Titolo: | Finite element analysis of stress evolution in Si based front and back ends micro structuresInternational Conferencre on Simulation of Semiconductor Processes and Devices |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2002 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11391/969591 |
ISBN: | 4891140275 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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